正在迎接台积电晶圆厂明年启用的日本熊本县，组成调查小组来到台湾。调查小组走访台湾的竹科、中科，以及台积电中科15厂；调查结果出炉，对园区内的半导体厂环保表现按了赞。

这是一场严格考验。因为，熊本被称为“地下水之城”，县内熊本市居民用水100%来自地下水。熊本县居民与官员对工业污染，更有源于历史悲剧的深恶痛绝情绪。

听过“水俣病”吗？这是一种因为水银中毒造成患者痉挛、神经错乱、最终死亡的恐怖工业公害病。水俣病的命名，来自于1956年一种怪病首发于日本的“水俣市”，据称当时至少造成4000位当地居民死亡。而水俣市的所在地，就在熊本县内。

走过重大悲剧，熊本县对工业污染有着比其他地区更深层的戒慎恐惧。

回到熊本官员的台湾行，调查报告出炉显示正面信息，“即使採用（比台湾）更严格的日本标准，大多数项目都能达标。”贯穿文内、不时被熊本官员提及的这个关键句，宣布了台湾半导体业者“顺利过关”；而在通过严格考验的背后，更代表岛内半导体厂对环保的重视，以及背后一群为台积电解决问题的环保尖兵，俨然已是台湾半导体产业竞争力的重要一环。

当半导体厂对于“水”的环保意识提升，对提供解方的环保业者来说，就必须迎接一连串的高难度挑战。

半导体化学设备供应商、跨入化学废液回收领域多年的朋亿总经理马蔚表示：“以前的工业废水，可能简单分成5到6种排放，但现在为了环保或是回收，可能要分成数十种类别，使管线数量大增，材质也要更好。”

他进一步解释，以前可能好几种废水混在一起，浓度中和后，对于管线材质要求没有那么高；但现在细分成数十种后，有些强酸或强硷的浓度非常高，自然需要相对应材质的管线，都使成本上升。

再以台积电的废水管线为例，公司曾在企业社会责任报告书提到，早期，废水分类“只有酸硷中和系统及混凝沉降系统”；到了2011年则揭露：“台积公司採取严格的前端废水分类分流策略⋯⋯，目前厂房内之分流管最多高达20几种。”再过10多年后，台积电2022年永续报告书中写的，是已“建立38种分流系统”！

在“地下水之城”日本熊本县，台积电更做出挑战极度高标的回收水承诺。

台积电对本刊表示，“台积公司订定2030年台湾厂区再生水替代率，达60%以上之目标⋯⋯。”公司指出，现阶段各晶圆厂布建的用水回收处理设施，已做到“一滴水可循环使用3.5次”的成果。但，这些承诺与成果，在台积电将于熊本县启用的JASM（中文全称为“日本先进半导体制造”公司）新厂身上，还要再往上跳。

台积电指出，位于日本熊本的JASM，“将‘因地制宜’落实对环境的承诺。”因地制宜的承诺是什么？台积电强调，JASM预计将有超过30种不同废液处理程序，目前规划之厂区用水回收率，为75%以上！”这个数字，比台积电订定的2030年台湾厂区再生水替代率目标，还要高出15个百分点。

熊本县环境政策课代表宫原薰，也是这次制作“台湾半导体环保过关”报告的负责人，她表示：“这次我们走访的科学园区，都有确实遵守台湾环境法规。”一句话，等于对园区内的半导体厂环保表现按了个赞。

来源：中时新闻网