2026年11月05日，科创半导体设备ETF鹏华（589020）收盘价为0.864元，开盘价为0.802元，盘中最高价为0.910元、最低价为0.802元，相对于上一个交易日收盘价涨跌幅为2.49%，成交量21,124,006.52手，成交金额182,301.48万元。

根据动态宝AI-FILTER系统数据，科创半导体设备ETF鹏华（589020）主要成分股近日在消息面上，有如下业务信息：

华海清科（688120）：华海清科首套磨-划-洗集成系统装备顺利出机：　　11月4日，华海清科股份有限公司（简称“华海清科”，股票代码688120）面向Micro LED领域推出的磨-划-洗成套方案首套集成系统装备顺利出机。此次出机是公司首次实现集成系统装备出机，标志着成套解决方案服务能力进一步提升。

或受这些消息影响，今日该ETF走势整体表现为震荡上行。

科创半导体设备ETF鹏华（589020）跟踪上证科创板半导体设备指数，聚焦于科创板中从事半导体设备研发、制造和服务的上市公司。该ETF主要投资于半导体产业链上游关键设备领域，覆盖光刻、刻蚀、薄膜沉积等核心环节，旨在把握国产替代与产业升级的投资机遇。 产品适合看好中国半导体设备行业长期发展、能承受较高波动、寻求产业主题配置的成长型投资者。费率方面，管理费率 0.50%、托管费率 0.10%，综合费率约 0.60%。

数据显示，截至2026年11月05日，科创半导体设备ETF鹏华（589020）前十大权重股分别为华海清科（10.54%）、中微公司（9.95%）、中科飞测（8.69%）、拓荆科技（6.54%）、华峰测控（5.92%）、芯源微（5.74%）、沪硅产业（5.44%）、盛美上海（5.13%）、安集科技（5.05%）、富创精密（4.63%），前十大权重股合计占比67.63%。该ETF在过去一个月、一个季度、一年的涨跌幅分别是-21.88%,-64.79%,-24.14%。

(动态宝)